dichlorosilane

Dichlorosilan (Cl2H2Si, CAS: 4109-96-0) ist eine anorganische Siliziumverbindung, die zu den Chlorsilanen gehört. Es handelt sich um ein farbloses Gas bei Raumtemperatur, das hochreaktiv ist und spontan mit Wasser unter Bildung von Salzsäure und Siliziumdioxid reagiert. Die Substanz ist pyrophor und kann sich bei Kontakt mit Luft selbst entzünden. Dichlorosilan weist eine hohe chemische Reaktivität auf und muss daher unter kontrollierten Bedingungen gehandhabt werden.

Dichlorosilan findet hauptsächlich Anwendung in der Halbleiterindustrie als Ausgangsstoff für die Herstellung von hochreinem Silizium durch chemische Gasphasenabscheidung (CVD). Es wird auch zur Produktion von Siliziumkarbid-Beschichtungen und anderen siliziumbasierten Materialien verwendet. In der chemischen Industrie dient es als Zwischenprodukt für die Synthese verschiedener Organosilikonverbindungen und als Reduktionsmittel in spezialisierten chemischen Prozessen. Die Elektronik- und Solarindustrie nutzen Dichlorosilan für die Herstellung dünner Siliziumschichten.

Dichlorosilan erfordert äußerste Vorsichtsmaßnahmen bei Handhabung und Lagerung. Es muss unter Inertgasatmosphäre (Stickstoff oder Argon) gelagert werden, um Kontakt mit Luft und Feuchtigkeit zu vermeiden. Verwenden Sie nur druckgeprüfte Behälter und stellen Sie sicher, dass alle Anlagen aus korrosionsbeständigen Materialien bestehen. Tragen Sie vollständige Schutzausrüstung einschließlich Atemschutz. Arbeitsplätze müssen gut belüftet sein und mit Gaswarngeräten ausgestattet werden. Notfallpläne für Leckagen sind essentiell.

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Dichlorosilan ist nach ADR in Klasse 2 (Gase) eingestuft, was den besonderen Transportanforderungen für Gase entspricht. Der Transport erfordert spezielle druckgeprüfte Behälter und die Einhaltung strenger Sicherheitsvorschriften. Fahrzeuge müssen entsprechend gekennzeichnet sein und Fahrer benötigen eine ADR-Schulung für Gefahrguttransporte. Die Beförderung unterliegt besonderen Mengenbegrenzungen und Routenvorschriften. Alle Transportbehälter müssen regelmäßig geprüft und zertifiziert werden, um die Sicherheit während des Transports zu gewährleisten.